Supplément au Journal de Physique Colloques

HYDROGEN PROFILING IN GAS PHASE DOPED AND ION IMPLANTED AMORPHOUS SILICON FILMS

F.J. Demond, G. Müller, H. Damjantschitsch, H. Mannsperger, S. Kalbitzer, P.G. Le Comber et W.E. Spear

J. Phys. Colloques, 42 C4 (1981) C4-779-C4-782

DOI: 10.1051/jphyscol:19814170

F.J. Demond

G. Müller

H. Damjantschitsch

H. Mannsperger

S. Kalbitzer

P.G. Le Comber

W.E. Spear

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