Supplément au Journal de Physique Colloques

INVESTIGATION OF SHEATH AT ELECTRODE IN RADIO-FREQUENCY DISCHARGE

V.A. Godyak et S.N. Ox.

J. Phys. Colloques, 40 C7 (1979) C7-809-C7-810

DOI: 10.1051/jphyscol:19797390

V.A. Godyak

S.N. Ox.

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