ANALYSE DU TRANSFERT DE MATIÈRE ENTRE UN PLASMA RÉACTIF ET LE SILICIUM - ÉTUDE EXPÉRIMENTALE ET MODÉLISATION D. MORVAN, P. HUMBERT, N. MADIGOU, J. AMOUROUX et S. CAVVADIASJ. Phys. Colloques, 51 C5 (1990) C5-253-C5-261DOI: https://doi.org/10.1051/jphyscol:1990531
