ÉTUDE PAR SPECTROMÉTRIE DE MASSE DES IONS NÉGATIFS DANS UN PLASMA DE MÉLANGE CO2, N2 ET HÉLIUM A BASSE PRESSION M. BACAL et H. J. DOUCETJ. Phys. Colloques, 36 C6 (1975) C6-22DOI: https://doi.org/10.1051/jphyscol:1975604