DIFFUSION ACCÉLÉRÉE PAR IRRADIATION DANS LE SILICIUM. ÉTUDE DE LA CINÉTIQUE ET DE LA DISTRIBUTION DES IMPURETÉS P. BARUCH, M. BOUVATIER, C. PICARD, Y. EPELBOIN, J. MONNIER et B. NETANGEJ. Phys. Colloques, 34 C5 (1973) C5-131-C5-136DOI: https://doi.org/10.1051/jphyscol:1973525
