ÉTUDE PAR MICROSCOPIE ÉLECTRONIQUE EN TRANSMISSION DE DÉFAUTS CRÉÉS PAR IMPLANTATION IONIQUE DANS DU SILICIUM < III > R. TRUCHE, M. DUPUY et D. LAFEUILLEJ. Phys. Colloques, 34 C5 (1973) C5-93-C5-98DOI: https://doi.org/10.1051/jphyscol:1973518
