ÉTUDE DE LA RÉPARTITION DES IONS ET DES DÉFAUTS CRÉÉS PAR IMPLANTATION DANS LES SEMI-CONDUCTEURS PAR INTERFÉROMÉTRIE INFRAROUGE A. BRELOT, Y. LAGADEC, G. BOLBACH, G. HOROWITZ et G. PELOUSJ. Phys. Colloques, 34 C5 (1973) C5-35-C5-38DOI: https://doi.org/10.1051/jphyscol:1973508
