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Article cité :

PHASE TRANSFORMATION DURING CVD OF ALUMINIUM OXIDE

E. FREDRIKSSON, J.-O. CARLSSON

J. Phys. Colloques, 50 C5 (1989) C5-391-C5-399

DOI: https://doi.org/10.1051/jphyscol:1989547

PDF (1.339 MB)

Citations de cet article :

Tribological Properties of Multilayer CVD Coatings Deposited on SiAlON Ceramic Milling Inserts

Luke Osmond, Ian Cook and Tom Slatter
Journal of Manufacturing and Materials Processing 7 (2) 67 (2023)
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Studies of LPCVD Al–Fe–O deposits by XPS, EELS and Mössbauer spectroscopies

Ch Labatut, R Berjoan, B Armas, et al.
Surface and Coatings Technology 105 (1-2) 31 (1998)
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Factors influencing the κ-Al2O3 → α-Al2O3 phase transformation during CVD growth

Eva Fredriksson and Jan-Otto Carlsson
Surface and Coatings Technology 56 (2) 165 (1993)
https://doi.org/10.1016/0257-8972(93)90022-G