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Influence of Si doping and O2 flow on arc-deposited (Al,Cr)2O3 coatings
Ludvig Landälv, Emmanuelle Göthelid, Jens Jensen, et al. Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 37(6) (2019) https://doi.org/10.1116/1.5118312
Phase composition and transformations in magnetron-sputtered (Al,V)2O3 coatings