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Article cité :

A MICROWAVE METHOD FOR CONTACTLESS MEASUREMENT OF THE LIFETIME OF FREE CARRIERS IN SILICON WAFERS

T. OTAREDIAN, S. MIDDELHOEK, M.J.J. THEUNISSEN

J. Phys. Colloques, 49 C4 (1988) C4-145-C4-148

DOI: https://doi.org/10.1051/jphyscol:1988428

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Citations de cet article :

Bipolar effects in the fabrication of silicon membranes by the anodic etch stop

M.K. Andrews and G.C. Turner
Sensors and Actuators A: Physical 29 (1) 49 (1991)
https://doi.org/10.1016/0924-4247(91)80031-J

An instrument for contactless lifetime measurements in semiconductor layers of silicon-on-insulator (SOI) materials

W Rehwald, R Morf and A Vonlanthen
Semiconductor Science and Technology 6 (8) 735 (1991)
https://doi.org/10.1088/0268-1242/6/8/003