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Ion-Beam Synthesis of Ferromagnetic Films by the Implantation of Co+ Ions into Silicon

V. V. Chirkov, G. G. Gumarov, V. Yu. Petukhov and A. E. Denisov
Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques 12 (1) 149 (2018)
https://doi.org/10.1134/S1027451018010251