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DOPING OF SILICON WITH ARSENIC AND PHOSPHORUS FROM SPIN-ON SOURCES EXPOSED TO INCOHERENT LIGHT

A.N. Larsen, V.E. Borisenko, L.D. Nielsen

J. Phys. Colloques, 44 C5 (1983) C5-427-C5-431

DOI: https://doi.org/10.1051/jphyscol:1983562

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Citations de cet article :

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Erbium luminescence in porous silicon doped from spin‐on films

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Incoherent-light induced diffusion of phosphorus as a doping procedure for low-cost silicon solar cells

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