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Article cité :

A COMPUTER INTEGRATED SPECTROPHOTOMETER FOR FILM THICKNESS MONITORING

H.-E. Korth

J. Phys. Colloques, 44 C10 (1983) C10-101-C10-104

DOI: https://doi.org/10.1051/jphyscol:19831021

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Citations de cet article :

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Surface profile measurement with a scanning differential ac interferometer

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