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Article cité :

INFRARED VIBRATIONAL SPECTRA OF CHLORINATED AND HYDROGENATED AMORPHOUS SILICON

S. Kalem, J. Chevallier, S. Al Dallal, J. Bourneix

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DOI: https://doi.org/10.1051/jphyscol:1981477

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Citations de cet article :

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Direct formation of crystalline silicon films on an amorphous substrate from chlorinated materials by plasma-enhanced chemical vapor deposition

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Transport properties of hydrogenated and chlorinated amorphous silicon Correlation with infrared transmission spectra

S. Al Dallal, S. Kalem, J. Bourneix, J. Chevallier and M. Toulemonde
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