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Low-pressure inductively coupled plasmas in hydrogen: impact of gas heating on the spatial distribution of atomic hydrogen and vibrationally excited states
Gregory J Smith, Paola Diomede, Andrew R Gibson, Scott J Doyle, Vasco Guerra, Mark J Kushner, Timo Gans and James P Dedrick Plasma Sources Science and Technology 33(2) 025002 (2024) https://doi.org/10.1088/1361-6595/ad1ece
On the scaling of rf and dc self-bias voltages with pressure in electronegative capacitively coupled plasmas
Ankur Agarwal, Leonid Dorf, Shahid Rauf and Ken Collins Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 30(2) (2012) https://doi.org/10.1116/1.3676182
Self-consistent electrodynamics of large-area high-frequency capacitive plasma discharge