Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 46, Numéro C6, Septembre 1985
MMA' 85
Europhysics Conference on Magnetic Materials for Applications
Page(s) C6-97 - C6-100
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:1985617
MMA' 85
Europhysics Conference on Magnetic Materials for Applications

J. Phys. Colloques 46 (1985) C6-97-C6-100

DOI: 10.1051/jphyscol:1985617

CORRELATION BETWEEN CRYSTALLOGRAPHIC AND MAGNETIC ANISOTROPY OF CoCr THIN FILMS

P. Heilmann, U. Kullmann et H. Haberkorn

BASF AG VIT/EM and ZKM/S, D-6700 Ludwigshafen, F. R. G.


Résumé
Des films de CoCr ont été déposés par pulvérisation cathodique radiofréquence sur des substrats de Si, Al, verre et polyimide. Plusieurs degrés d'orientation perpendiculaire des films ont été obtenus en faisant varier les paramètres expérimentaux. L'orientation cristallographique a été caractérisée par Δθ50, tandis que, dans le plan et perpendiculairement, les aimantations rémanentes relatives mr" et mr étaient prises comme des mesures de l'anisotropie magnétique. On montrera que mr" est le meilleur choix pour caractériser l'anisotropie magnétique. Avec des valeurs de mr" allant de 0,05 à 0,2 une corrélation étroite avec Δθ50 allant de 1° à 12° a pu être faite dans la plupart des cas. Alors que Δθ50 ne caractérise que la direction (002), mr" est plus sensible aux cristaux désorientés du film de CoCr. Par conséquent, les deux valeurs donnent des informations complémentaires pour caractériser totalement l'anisotropie perpendiculaire des films CoCr.


Abstract
CoCr films were deposited by RF sputtering on Si , Al , glass and polyimide substrates. Various degrees of perpendicular orientation of the films were obtained by varying the experimental parameters. The crystallographic orientation was characterized by Δθ50, while in plane and perpendicular relative remanences mr" and mr" were evaluated as a measure for the magnetic anisotropy. It will be shown that mr" is the best choice to characterize the magnetic anisotropy. With mr ranging from 0.05 to 0.2 a close correlation toΔθ50 ranging from 1° to 12° could be found in most cases. While only characterizes the (002) orientation, mr" is more sensitive to misorientated crystals of the CoCr film. Therefore, both values give complementary information to fully characterize the perpendicular anisotropy of CoCr films.