| Numéro |
J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse 10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis |
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| Page(s) | C2-215 - C2-218 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1984247 | |
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-215-C2-218
DOI: 10.1051/jphyscol:1984247
Tracor Northern, Inc., 2551 West Beltline Highway, Middleton, Wisconsin 53562, U.S.A.
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-215-C2-218
DOI: 10.1051/jphyscol:1984247
AN INTEGRATED SYSTEM FOR COLLECTION AND PROCESSING OF ANALYTICAL AND IMAGE DATA FROM THE SEM/STEM
J.J. McCarthy et J.P. BensonTracor Northern, Inc., 2551 West Beltline Highway, Middleton, Wisconsin 53562, U.S.A.
Résumé
Ce papier décrit un système géré par ordinateur qui donne la possibilité de traiter simultanément la microanalyse, le contrôle de l'instrument et l'analyse d'images en mode SEM ou STEM.
Abstract
This paper describes a computer-based system that provides the capability to integrate microanalysis, instrument control, and image processing for SEM and STEM.