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J. Phys. Colloques
Volume 44, Numéro C10, Décembre 1983
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis
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| Page(s) | C10-367 - C10-370 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:19831074 | |
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis
J. Phys. Colloques 44 (1983) C10-367-C10-370
DOI: 10.1051/jphyscol:19831074
1 Centre d'Etudes des Couches Minces, Université Aix-Marseille III, rue Henri Poincaré, 13397 Marseille Cedex 13, France
2 Laboratoire d'Astronomie Spatiale, 13012 Marseille, France
J. Phys. Colloques 44 (1983) C10-367-C10-370
DOI: 10.1051/jphyscol:19831074
RESTITUTION OF SURFACE PROFILES FROM MICRODENSITOMETER ANALYSIS OF ELECTRON MICROGRAPHS OF SURFACE REPLICAS
G. Rasigni1, M. Rasigni1, F. Varnier1, J.P. Palmari1 et A. Llebaria21 Centre d'Etudes des Couches Minces, Université Aix-Marseille III, rue Henri Poincaré, 13397 Marseille Cedex 13, France
2 Laboratoire d'Astronomie Spatiale, 13012 Marseille, France
Résumé
On présente une nouvelle méthode d'étude des surfaces rugueuses s'appuyant sur une analyse microdensitométrique de micrographies obtenues par la technique des répliques. On en déduit les fonctions d'autocovariance et les spectres de rugosité de différentes surfaces rugueuses. Les résultats sont comparés avec ceux fournis par d'autres méthodes.
Abstract
A new method for studying surface roughness is presented that uses a microdensitometer to analyse electron micrographs of shadowed surface replicas. Autocovariance functions and roughness spectrums are deduced for various rough surfaces. Results are compared with those provided by other techniques.