Second International Workshop on MeV and keV Ions and Cluster Interactions with Surfaces and Materials
J. Phys. Colloques 50 (1989) C2-227-C2-230
DOI: 10.1051/jphyscol:1989236
THE SPUTTERING OF NON-METALS UNDER SLOW MULTIPLY CHARGED IONS
I.S. BITENSKY and E.S. PARILISArifov Institute of Electronics, Tashkent 700143, U.S.S.R.
Résumé
Il s'agit de l'analyse théorique de la pulvérisation des surfaces non-métallique dû à "l'explosion Coulomb" sous le bombardement avec les ions lent multiple chargée. Il a été montré que l'effet est sensible à l'énergie des ions, la température et la conductivité d'échantillon, diminuant avec leur augmentation.
Abstract
The theoretical analysis of sputtering of non-metals under slow multiply charged ions via "Coulomb explosion" is carried out. It was shown that the effect is sensitive to ion energy, temperature and conductivity of a solid and decreases with their increase.